TAKEX 梳齒型晶圓映射傳感器  ASW 系列

TAKEX 梳齒型晶圓映射傳感器 ASW 系列晶圓映射傳感器的目的是檢測半

導(dǎo)體制造中的半透明晶圓（如碳化硅、藍(lán)寶石和硅）,以確保準(zhǔn)確和高效的加工

過程。

在實(shí)際工作中，薄而易碎的半導(dǎo)體晶圓體，在加工過程的轉(zhuǎn)運(yùn)時，往往需要

類似于FOUP（Front Opening Unified Pod）的盒式載具。

而ASW系列正是適合使用的探測器，用來確認(rèn)盒體中晶圓的數(shù)量及是否殘缺。

該傳感器可以檢測多種類型的半透明晶圓,包括碳化硅、藍(lán)寶石、硅以及其

他類似材料。

ASW 系列的功能及特點(diǎn)包括：

1. 半透明晶圓模式：傳感器能夠檢測和映射6英寸、8英寸和12英寸的半透明

晶圓，如碳化硅、藍(lán)寶石和硅。

2. 靜電故障免疫：傳感器設(shè)計免受靜電影響，確保可靠的檢測。

3. 易維護(hù)：傳感器的梳狀傳感器單元可以通過單次操作輕松更換，方便維護(hù)。

4. 輸出禁止功能:傳感器具有輸出禁止功能,可以無論傳感器狀態(tài)如何禁止所

有輸出。當(dāng)并聯(lián)連接兩個傳感器時，可以通過單個輸入控制它們。

5. 遠(yuǎn)程教學(xué)和光發(fā)射禁止功能：傳感器具有光發(fā)射禁止功能，可以檢查輸出

操作。當(dāng)該功能被重置并且傳感器獲得最佳靈敏度時，教學(xué)將重新開始。

6. 故障輸出和自診斷功能：傳感器在教學(xué)過程中會發(fā)出警報,并在發(fā)生故障

（如接收光強(qiáng)度低、梳狀傳感器損壞或外部光干擾）時依次打開和關(guān)閉每

個通道的輸出。

7. 符合CE標(biāo)準(zhǔn)：8英寸和12英寸型號的傳感器符合CE標(biāo)準(zhǔn)。

8. 機(jī)器人電纜和離散輸出：傳感器每個通道輸出信號獨(dú)立，并采用高度靈活

的機(jī)器人電纜（適用于6英寸和8英寸型號）。

這些特點(diǎn)有助于簡化維護(hù)、節(jié)省成本，并可可靠地檢測高透光率的晶圓。

正因?yàn)榫邆淙缟系奶攸c(diǎn),該探測器成為晶圓加工過程中的有利助手。