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SPS(POLOS)旋涂機的工作原理

發布時間: 2023-06-09  點擊次數: 985次

     我們的POLOS®單晶圓旋涂機有NPP或PTFE兩種材質。這些高質量的旋涂機專為MEMS,半導體,生命科學,PV,微流體等領域的研發和小批量生產而設計。適用于所有典型的旋轉工藝:清潔、漂洗/干燥、涂層、顯影、載玻片和蝕刻。

POLOS SPIN150i NPP

通過大型彩色觸摸屏進行簡單的分步配方編程

帶注射器支架的透明蓋子,用于中央分配

高加速度和高精度

手動化學品分配

產品編號41096

材料天然聚丙烯

基板尺寸?150 mm 或 4“ x 4" 方形基板

SPS(POLOS).jpg


產品描述

      POLOS SPIN150i是一款多功能的高質量基材旋涂機,由PTFE或NPP制成。它專為研發和小批量生產而設計。用于手動或自動(可選)化學品分配的桌面版本。

適用于涂布、清洗、漂洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI等工藝


規格:


高達 6“ (150 mm) 晶圓

高達 4“ x 4" (100 mm) 方形基板

材料:天然聚丙烯(NPP)

通過大型彩色觸摸屏進行簡單的分步配方編程

產品特點

1.電機勵磁和電樞分開供電。勵磁用12伏直流穩壓電源供電,電樞用運放控制IRF830調速,它比可控硅調速*,故其轉速在500—8000轉/分范圍內非常穩定。

2.本勻膠機有兩檔轉速。在啟動之后,先以低速運轉,然后自動變到高速運轉。兩檔速度及運行時間分別可調。

3.本勻膠機采用光電檢測,數字電路測速,對電機的轉速檢測快速準確。電機穩速方面采用了光電隔離的精密負反饋電路,使整機在高達8000RPM以上轉速時仍十分穩定,有力的保證了勻膠質量。

4.“吸片"采用電子開關控制電磁閥完成氣路通斷,這樣適合流水線工藝,一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作,提高效率。

5.勻膠機定時采用可調定時電路控制,面板上調節Timer旋鈕即可改變勻膠時間。

6.在安裝結構上,采取了減震措施,因而勻膠機在運轉時噪音很低。

7.電磁閥與電機運行有連鎖功能,電磁閥未動作不能啟動電機運行,本次勻膠電機未停不能進行下次勻膠,若運行中誤按“CONTROL"鍵也不能停止吸氣,即不會產生跑片。

由于采用了以上一系列措施,故本機具有很高的轉速穩定性和快速啟動性,可以保證涂覆表面均勻,并可通過調節轉速調節涂覆厚度。


POLOS 300 高級單基板旋轉處理器,臺式機版本或集成商型號,自動化學品分配,重型電機。這種革命性的旋涂機系列可用作您工藝的全自動解決方案。由于采用天然聚丙烯和 PTFE 制成的全塑料外殼,它支持多種流體。它適用于處理小至 5 mm 的碎片,甚至適用于處理小至 5 mm 的碎片。


適用于涂布、清洗、漂洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 和其他工藝

SPS(POLOS)旋涂機的工作原理






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