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PIEZOCONCEPT三軸超高速納米定位器的規格

發布時間: 2023-03-07  點擊次數: 1020次

piezoconcept-PM3LR級的Z部分可以具有高達50μm的行程范圍,并提供市場上非常高的速度能力(高達12.5kHz諧振頻率)。專為原子力顯微鏡等要求苛刻的計量應用而設計。包括控制器(USB 可選)。

piezoconcept SPM3LR平臺是一個3軸納米定位器,沿X和Y提供100μm,200μm或300μm的行程范圍.SPM3LR平臺的Z部分可以具有高達50μm的行程范圍,并提供市場上非常高的速度能力,非常大諧振頻率為12.5kHz

。SPM3LR.xxx.05 在 Z 軸上的階躍響應時間可以小于一毫秒。

因此,SPM3LR載物臺特別適用于原子力顯微鏡等要求苛刻的計量應用。

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XY規格

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Z 規格

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PIEZOCONCEPT三軸超高速納米定位器的規格







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